- defectivity
- способность к изгибу (без разрушения)
Англо-русский словарь по машиностроению. 2014.
Англо-русский словарь по машиностроению. 2014.
Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of … Wikipedia
Immersion lithography — is a photolithography resolution enhancement technique that replaces the usual air gap between the final lens and the wafer surface with a liquid medium that has a refractive index greater than one. The resolution is increased by a factor equal… … Wikipedia
Immersionslithografie — Bei der Immersionlithographie, durchquert das Licht von oben ein System von Linsen (1.) und einen dünnen Flüssigkeitsfilm (2.; im Beispiel Wasser) bevor es den Fotolack auf der Oberseite des Wafers (3.) erreicht. Die Immersionslithografie ist… … Deutsch Wikipedia